Lithographiemaschinn Maskenausriichter Fotoätzmaschinn
Produktvirstellung
D'Beliichtungsliichtquell benotzt importéiert UV-LED a Liichtquellformungsmodul, mat gerénger Hëtzt a gudder Liichtquellstabilitéit.
Déi ëmgedréint Beliichtungsstruktur huet e gudden Hëtzeofleedungseffekt an eng Noperschaftseffekt vun der Liichtquell, an den Ersatz an d'Ënnerhalt vun der Quecksëlwerlampe si einfach a praktesch. Ausgestatt mat engem héichvergréisserende binokularen Duebelfeldmikroskop an engem 21 Zoll Breitbildschierm LCD, kann se visuell ausgeriicht ginn duerch ...
Okular oder CCD+ Display, mat héijer Ausriichtungsgenauegkeet, intuitivem Prozess a praktescher Operatioun.
Fonctiounen
Mat Fragmentveraarbechtungsfunktioun
Nivelléierenden Kontaktdrock garantéiert Widderhuelbarkeet duerch Sensor
Den Ausriichtungsofstand an d'Beliichtungsofstand kënnen digital agestallt ginn
Mat engem agebaute Computer + Touchscreen-Bedienung, einfach a praktesch, schéin a generéis
Pull-Typ erop an erof Plack, einfach a praktesch
Ënnerstëtzung vu Vakuumkontaktbelaaschtung, haart Kontaktbelaaschtung, Drockkontaktbelaaschtung a Proximitéitsbelaaschtung
Mat Nano-Imprint-Interface-Funktioun
Eenzel Schichtbeliichtung mat engem Schlëssel, héije Grad vun Automatiséierung
Dës Maschinn huet eng gutt Zouverlässegkeet a praktesch Demonstratioun, besonnesch gëeegent fir Léieren, wëssenschaftlech Fuerschung a Fabriken a Colleges an Universitéiten.
Méi Detailer
Spezifikatioun
1. Beliichtungsfläch: 110mm × 110mm;
2. ★ Beliichtungswellelängt: 365nm;
3. Opléisung: ≤ 1m;
4. Ausriichtungsgenauegkeet: 0,8 m;
5. De Bewegungsberäich vum Scandësch vum Ausriichtungssystem muss op d'mannst folgend sinn: Y: 10mm;
6. Déi lénks a riets Liichtröhrchen vum Ausriichtungssystem kënne sech separat an X-, Y- an Z-Richtunge beweegen, X-Richtung: ± 5 mm, Y-Richtung: ± 5 mm an Z-Richtung: ± 5 mm;
7. Maskgréisst: 2,5 Zoll, 3 Zoll, 4 Zoll, 5 Zoll;
8. Proufgréisst: Fragment, 2", 3", 4";
9. ★ Gëeegent fir Proufdicke: 0,5-6 mm, a kann maximal 20 mm Proufstécker ënnerstëtzen (personaliséiert);
10. Beliichtungsmodus: Timing (Countdown-Modus);
11. Net-Uniformitéit vun der Beliichtung: < 2,5%;
12. Duebelfeld-CCD-Ausriichtungsmikroskop: Zoomobjektiv (1-5-fach) + Mikroskopobjektiv;
13. De Bewegungswénkel vun der Mask am Verhältnes zu der Prouf muss mindestens folgend Punkte betreffen: X: 5 mm; Y: 5 mm; : 6º;
14. ★ Beliichtungsenergiedicht: > 30 MW / cm2,
15. ★ D'Ausriichtungspositioun an d'Beliichtungspositioun funktionéieren an zwou Statiounen, an de Servomotor vun den zwou Statiounen wiesselt automatesch;
16. Den ausgläichende Kontaktdrock garantéiert d'Widderhuelbarkeet iwwer de Sensor;
17. ★ Den Ausriichtungsofstand an d'Beliichtungsofstand kënnen digital agestallt ginn;
18. ★ Et huet eng Nano-Impressum-Interface an eng Proximitéitsinterface;
19. ★ Touchscreen-Bedienung;
20. Gesamtdimensiounen: Ongeféier 1400 mm (Längt) 900 mm (Breet) 1500 mm (Héicht).
